Hochpräzise Mess- und Justiereinrichtung für die Wafer-Produktion

Um Halbleiter preiswerter herzustellen, werden die Wafer immer grösser und die Schreibdichte wird immer feiner. Damit steigt auch die Anforderung an die Grösse und die Genauigkeit der Linsen.

Für die Belichtung der Wafer in den Chip-Produktionsanlagen werden bei der Carl Zeiss AG extrem grosse Linsen in höchster Güte hergestellt. Diese Linsen müssen optimal einjustiert und vermessen werden, teilweise auf bis zu 1 Nanometer Genauigkeit.

Mit 16 Achsen werden diese Linsen eingemessen und justiert. Sie werden mit 16 CAN-vernetzten 1-Achs-Kompaktsteuerungen MK1 über einen PC angesteuert.

Die kompakte Bauweise – die Verstärker sind integriert – und die hohe Genauigkeit der Motorsteuerungen sprechen für deren Einsatz bei dieser diffizilen Aufgabe.